Χαρακτηριστικά εξοπλισμού κεραμικής επίστρωσης PVD:
1. Ο θάλαμος κενού είναι κάθετος μία ανοιχτή πόρτα, 304 κατασκευάζει από ανοξείδωτο χάλυβα, εσωτερική διάμετρος θαλάμου κενού από φ1400mm-Φ2000mm.
2. Σύστημα κενού με περιστροφική αντλία πτερυγίων, αντλία ρίζας και αντλίες διάχυσης λαδιού ή σύνθεση μοριακής αντλίας.
3. Το σύστημα επίστρωσης χρησιμοποιεί μαγνητισμό ενδιάμεσης συχνότητας 1-2 για τον έλεγχο της πηγής ισχύος διασκορπισμού, έχει 1-2 ζεύγη μη ισορροπημένου μαγνητισμού για τον έλεγχο του στόχου και έχει 14-40 πηγές τόξου.
4. Πηγή ισχύος παλμικής μεροληψίας υψηλής απόδοσης.
5. Το σύστημα αεριοποίησης χρησιμοποιεί εγχώρια παραγωγή ή το ροόμετρο αέριας μάζας εισαγωγής, τον μετρητή ελέγχου ποσότητας ροής αερίου (επίδειξη).
6. Το ηλεκτρικά ελεγχόμενο σύστημα εγκατάστασης ηλεκτρικό κύκλωμα υπερφορτώθηκε, διακόπτει την παροχή νερού, πεθαίνει η ακουστικο-οπτική συσκευή συναγερμού.
7. Σύστημα ελέγχου (οθόνη αφής +PLC), λεπτομερής παράμετρος εμφάνισης σε πραγματικό χρόνο, πλήρως αυτόματος έλεγχος ολόκληρης της διαδικασίας παραγωγής και αυτόματη τεχνολογική παράμετρος μνήμης.
Εξοπλισμός επίστρωσης PVD - Προδιαγραφές RTAC1618
ΜΟΝΤΕΛΟ | RTAC1618 | ||
ΥΛΙΚΟ | Ανοξείδωτος χάλυβας (S304) | ||
ΜΕΓΕΘΟΣ ΘΑΛΑΜΟΥ | Φ1600*1800mm (Υ) | ||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΝΤΛΙΑΣ | Αντλία κενού με περιστροφικό έμβολο (μηχανική) | ||
Περιστροφική αντλία κενού με πτερύγια (συγκράτηση) | |||
Αντλία κενού Roots | |||
Αντλία Διάχυσης | |||
ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΑ | Επιμετάλλωση ιόντων (Πηγές πολλαπλών τόξων) | ||
ΤΥΠΙΚΟΙ ΣΤΟΧΟΙ | Χρώμιο, Τιτάνιο, Ζιρκόνιο, TiAl | ||
ΑΕΡΙΟ | Μετρητές ροής μάζας αερίου (Ar, N2,) Argon, Nitrogen | ||
ΕΛΕΓΧΟΣ | PLC (Προγραμματιζόμενος Λογικός Ελεγκτής) | ||
ΣΥΣΤΗΜΑ ΑΣΦΑΛΕΙΑΣ | Πολυάριθμες κλειδαριές ασφαλείας για την προστασία των χειριστών και του εξοπλισμού | ||
ΨΥΞΗ | Ανακύκλωση Νερού Ψύξης | ||
ΘΕΡΜΑΝΣΗ | Θερμαντήρας, έως 300℃ | ||
ΙΣΧΥΣ ΜΕΓ. | 150 KW (Περίπου) | ||
ΜΕΣΗ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗ ΙΣΧΥΟΣ | 70 KW (Περίπου) |
Εξοπλισμός επίστρωσης κεραμικών PVDχρησιμοποιεί τεχνολογία επιμετάλλωσης ιόντων για την εξάτμιση στερεών μετάλλων όπως το τιτάνιο, το χρώμιο από την πηγή καθοδικού τόξου και τη συμπύκνωση των ιονισμένων μετάλλων στην επιφάνεια του προϊόντος για τη δημιουργία της λεπτής μεμβράνης Nano σε περιβάλλον υψηλού κενού.Με το αντιδραστικό αέριο όπως: Άζωτο να δημιουργεί διάφορα χρώματα.
Άλλα προσαρμοσμένα μεγέθη μηχανών είναι διαθέσιμα με βάση τις καθορισμένες διαστάσεις του προϊόντος και τη ζήτηση χωρητικότητας.
Μοντέλο | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
Εσωτερικό μέγεθος θαλάμου | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
Τύπος τροφοδοσίας | Τροφοδοτικό τόξου, τροφοδοτικό νήμα, τροφοδοτικό παλμικής πόλωσης | ||||||||||
Δομή του θαλάμου κενού | Κατακόρυφη δομή μπροστινής πόρτας, σύστημα εξαγωγής αέρα πίσω και θάλαμος ψύξης νερού διπλής στρώσης | ||||||||||
Υλικό του θαλάμου κενού | ανοξείδωτο ατσάλι 304/316L | ||||||||||
Απόλυτο κενό | 6,0x10-4Pa (θάλαμος εκφόρτωσης, καθαρισμός, στέγνωμα) | ||||||||||
Ταχύτητα άντλησης κενού | από ατμόσφαιρα σε 8,0*10-3Pa ≤15 λεπτά | ||||||||||
Σύστημα άντλησης κενού | Αντλία διάχυσης ή μοριακή αντλία + Αντλία ριζών + Μηχανική αντλία + αντλία συγκράτησης (το συγκεκριμένο μοντέλο μπορεί να επιλεγεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη) | ||||||||||
Πηγή τόξου | 6 μονάδες ή 8 μονάδες | 8 μονάδες ή 10 μονάδες | 10 μονάδες ή 12 μονάδες | 14 μονάδες ή 16 μονάδες | 16 μονάδες ή 18 μονάδες | ||||||
Μεροληπτικό τροφοδοτικό | 20KW/σετ | 20KW/σετ | 30KW/σετ | 40KW/σετ | 50KW/σετ | ||||||
Μοντέλο οδήγησης | Πλανητική περιστροφή και περιστροφή, ρύθμιση ταχύτητας μεταβλητής συχνότητας (ελεγχόμενο και ρυθμιζόμενο) | ||||||||||
Σύστημα θέρμανσης | Ελεγχόμενο και ρυθμιζόμενο από θερμοκρασία δωματίου έως 450°C (Έλεγχος θερμοκρασίας PID) | ||||||||||
MFC | Σύστημα ελέγχου και απεικόνισης ροής αερίου διεργασίας 3 ή 4 διαδρομών, σύστημα επιλεκτικής αυτόματης εξαέρωσης | ||||||||||
Σύστημα ψύξης | Λειτουργία ψύξης κυκλοφορίας νερού, πύργος νερού ψύξης ή βιομηχανικός ψύκτης νερού ή σύστημα βαθιάς ψύξης.(Παρέχεται από πελάτες) | ||||||||||
Λειτουργία ελέγχου | Χειροκίνητη/αυτόματη λειτουργία ενσωμάτωσης, λειτουργία οθόνης αφής, PLC ή έλεγχος υπολογιστή | ||||||||||
Συνολική δύναμη | 30 KW | 35 KW | 45 KW | 60 KW | 75 KW | ||||||
Συναγερμός και προστασία | Συναγερμός για έλλειψη νερού, υπερβολικό ρεύμα και υπέρταση, ανοιχτό κύκλωμα και άλλες μη φυσιολογικές συνθήκες αντλιών, στόχων κ.ο.κ. | ||||||||||
Περιοχή εξοπλισμού | Π2,5μ*Μ3,5μ | Π3μ*Μ4μ | Π4μ*Μ5μ | Π4,5μ*Μ6μ | Π5μ*Μ7μ | ||||||
Άλλες τεχνικές παράμετροι | Πίεση νερού ≥0,2MPa, Θερμοκρασία νερού ≤25°C, Πίεση αέρα 0,5-0,8MPa | ||||||||||
Παρατηρήσεις | Η συγκεκριμένη διαμόρφωση του εξοπλισμού επίστρωσης μπορεί να σχεδιαστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις διαδικασίας των προϊόντων επίστρωσης |
Κεραμικά αρχεία PVD Coating Samples
Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες προδιαγραφές, η Royal Technology έχει την τιμή να σας παρέχει ολοκληρωμένες λύσεις επίστρωσης.